アプリケーション:この装置は、セルスタッキングプロセスに適用され、カスタマイズされたマシンです。パラメータ:サイズ:9.45m×6.1m×2.8m(L×W×H)容量:≥3ppm(31層)範囲:Lmax/150mm、Wmax/120mm精度:±0.1mm